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교정

Calibration

팩별 설명

측정기나 측정시스템이 나타내는 값과 알려진 기준 표준 값 사이의 관계를 정해 측정 편향과 추적성을 관리하는 활동.

설명

·센서 값이 틀리면 공정을 잘못 보정할 수 있으므로 교정은 측정 품질의 기초다.

계측

공정 결과의 치수, 두께, 중첩 정렬 오차, 형상, 재료 특성 같은 값을 정량적으로 측정하는 활동과 기술.

압력 gauge를 추적 가능한 기준과 비교해 표시 오차를 확인하고 필요한 보정을 관리한다. 관련 용어:

퀄리피케이션·적격성 검증

새 장비, 공정, 재료, 기술 또는 제품이 정해진 성능·품질·신뢰성 요구를 만족해 사용/양산해도 되는지 데이터로 검증하는 승인 과정.

교정은 기준과 측정 관계를 정하는 것이고 퀄리피케이션은 장비/공정이 사용 요구를 충족하는지 전체적으로 검증한다.

공정 결과의 치수, 두께, 중첩 정렬 오차, 형상, 재료 특성 같은 값을 정량적으로 측정하는 활동과 기술.

새 장비, 공정, 재료, 기술 또는 제품이 정해진 성능·품질·신뢰성 요구를 만족해 사용/양산해도 되는지 데이터로 검증하는 승인 과정.

계산 모델을 이용해 마스크나 노광 조건을 보정하여 목표 패턴을 더 정확히 만드는 방법입니다.