핵심 품질 특성
Critical to quality
CTQ
핵심 품질 특성은 제품 기능이나 후속 공정에 중요한 결과 변수다.
설명
막 두께·저항··결함 수처럼 웨이퍼에서 확인하는 결과와 장비 센서값을 구분한다. 센서가 허용 범위에 있어도 측정하지 않은 품질 특성은 달라질 수 있다.
예시
막 두께 평균이 목표여도 가장자리 막질이 달라 저항이 증가할 수 있다. 두께만 감시하는 체계라면 이 불일치를 놓치므로 필요한 결과 항목부터 정한다.
구분
장비 정상 여부를 판단하기 전에 어떤 품질을 지켜야 하는지 명시한다.