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Fab 자동화

Fab automation

Fab 자동화는 반도체 제조 현장의 생산 판단, 설비 작업, 자재 이동, 결과 기록을 정해진 규칙으로 연결하는 활동이다.

설명

를 운반하는 움직임뿐 아니라 잘못된 작업을 막고 결과를 남기는 정보처리도 자동화에 포함된다.

웨이퍼

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.

이 팩의 A, 설비 EQ-01, 공정 OP10은 모두 가상 예시다. 실제 공장의 명칭·상태·승인 절차는 서로 다르다.

lot

lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.

이동이 자동이어도 작업 허가와 결과 확인이 빠지면 제조운영 전체가 연결된 것은 아니다.

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.

lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.

MES는 제조실행시스템으로, 생산 중인 대상의 공정 진행·작업 조건·상태·실적·이력을 관리하는 기능을 담당한다.