사이클 타임·공정 통과시간

전기전도도가 도체와 절연체의 중간 정도인 물질. 산업 문맥에서는 이런 물질로 만든 IC와 관련 기술·산업까지 넓게 가리키기도 한다.

팹에 투입되어 아직 최종 공정을 마치지 않은 웨이퍼·웨이퍼 로트 등 공정 중인 재고.

관측값들을 모두 더해 데이터 개수로 나눈 산술평균으로, 공정 데이터의 중심 위치를 요약하는 가장 기본적인 통계량.

일정 시간 동안 공정·장비·공장이 처리하거나 완료할 수 있는 웨이퍼, 웨이퍼 로트, 단위의 수.

일정 시간 동안 공정·장비·공장이 처리하거나 완료할 수 있는 웨이퍼, 웨이퍼 로트, 단위의 수.