등각 증착
Conformal deposition
등각성
등각 증착은 표면의 굴곡을 따라 비교적 일정한 두께로 막을 형성하는 증착 특성이다.
설명
좁은 구멍의 측벽까지 연속적으로 덮는 데 유리하다. 다만 양쪽 벽에서 비슷하게 자라면 입구가 먼저 닫혀 빈 공간이 남을 수도 있다.
예시
얇은 절연막을 골고루 입히는 목표와 구멍 전체를 빈틈없이 채우는 목표는 다르다. 등각성이 좋다는 사실만으로 충전성도 항상 좋다고 결론을 내리지 않는다.
구분
등각 피복과 무결함 충전은 분리해서 평가한다.