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핵생성

Nucleation

팩별 설명

핵생성은 새로운 막이나 상이 자라기 시작할 작은 형성 지점이 생기는 과정입니다.

설명

처음 자라는 양상은 표면 종류와 반응 가능한 자리 등에 영향을 받습니다. 초기에 끊긴 섬처럼 시작했다가 연결된 막이 될 수 있습니다.

같은 증착 반복 횟수라도 다른 표면에서 이 다르면 아주 얇은 막의 연속성이 달라질 수 있습니다.

초기 성장 지연

초기 성장 지연은 막 성장을 시작한 뒤 정상적인 성장 거동에 도달하기까지 성장이 적거나 늦는 현상입니다.

처음 몇 단계의 성장을 전체 두께 증가와 따로 살펴봅니다.

초기 성장 지연은 막 성장을 시작한 뒤 정상적인 성장 거동에 도달하기까지 성장이 적거나 늦는 현상입니다.

반도체 소재는 소자를 만들고 연결·보호하는 재료와, 그 제조 과정에 사용하는 재료를 함께 가리킵니다.

기판은 소자나 막을 형성할 때 그 구조를 받치고 형성의 바탕이 되는 재료입니다.