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막 응력

Film stress

팩별 설명

막 응력은 형성된 막 내부나 막과 사이의 제약 때문에 생기는 단위 면적당 내부 힘입니다.

기판

기판은 소자나 막을 형성할 때 그 구조를 받치고 형성의 바탕이 되는 재료입니다.

설명

성장 과정과 온도 변화, 재료의 차이에 영향을 받습니다. 인장과 압축 방향이 있으며 커지면 휨·균열·박리와 관련될 수 있습니다.

두께와 성분이 같아도 형성 조건이 달라 응력이 달라지면 웨이퍼 휨이 달라질 수 있습니다.

막의 조성·두께만큼 응력과 구조의 반응도 확인합니다.

기판은 소자나 막을 형성할 때 그 구조를 받치고 형성의 바탕이 되는 재료입니다.

반도체 소재는 소자를 만들고 연결·보호하는 재료와, 그 제조 과정에 사용하는 재료를 함께 가리킵니다.

비저항은 일정한 온도와 재료 상태에서 전류의 흐름을 방해하는 정도를 나타내는 물성입니다.