막 응력
Film stress
박막 응력
막 응력은 형성된 안에 남아 막이나 기판을 잡아당기거나 누르는 기계적 상태이다.
설명
성장 과정과 막·기판의 열팽창 차이 등이 원인이 된다. 응력이 크거나 층 사이 균형이 나쁘면 휨, 균열, 박리로 이어질 수 있다.
예시
두께가 맞는데 가 더 휘었다면 막의 기계적 성질도 확인한다. 응력을 낮추는 조건 변경이 밀도나 전기특성에 미치는 영향도 함께 봐야 한다.
구분
은 전기적 기능을 가진 동시에 기판을 변형시키는 재료이다.