전구체
Precursor
전구체는 원하는 의 원소를 포함하며 증착 반응에 투입하는 원료 물질이다.
설명
원하는 원소 외의 성분은 반응 뒤 제거되어야 한다. 충분히 반응하지 않거나 부산물이 남으면 막 속 불순물이나 결함의 원인이 될 수 있다.
예시
전구체를 고를 때는 공급 가능성뿐 아니라 반응 온도, 형성 재료, 부산물, 기존 표면과의 호환성을 본다. 원료 이름이 비슷하다고 같은 막 품질을 보장하지 않는다.
구분
전구체는 재료를 운반하는 수단이자 공정의 온도·불순물 조건을 정하는 요소이다.