물질전달 지배
Mass-transport-limited growth
물질전달 지배는 표면 반응보다 원료가 표면에 도달하는 과정이 전체 성장 속도를 제한하는 상태이다.
설명
반응이 빠른 상태에서는 가스 흐름과 원료 소모의 위치 차이가 중요해진다. 의 모든 곳에 같은 양이 도착하지 않으면 두께 분포가 달라질 수 있다.
예시
이 상태에서 온도만 높여도 공급 한계는 그대로일 수 있다. 가스 분포와 기판 배치, 압력 등 수송에 영향을 주는 조건을 함께 확인한다.
구분
반응 속도를 높이는 것과 표면에 원료를 충분히 보내는 것은 다르다.