용어검색/반도체포토레지스트Photoresist팩별 설명반도체 용어 L1반도체 공정 L1반도체 장비 L1반도체 수율·불량 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2포토레지스트는 빛에 대한 반응을 이용해 현상 후 원하는 패턴을 남기는 감광 재료다.정의 복사관련 학습 ↓설명남은 패턴이 이후 식각 등에서 선택 영역을 정하는 역할을 한다. 두께·접착·잔류 상태가 후속 패턴 품질에 영향을 준다.예시레지스트 아래 잔류물이 있으면 국소적으로 패턴이 잘 형성되지 않을 수 있다. 노광 조건만 보지 말고 표면 준비도 확인한다.구분패턴 전사는 감광 반응과 표면·막 조건이 함께 만든다.함께 배우는 용어가중 수율↗가중 수율은 여러 집단의 합격 수를 합하고 대상 수를 합해 계산한 전체 합격 비율이다.단선↗단선은 원래 이어져야 할 전기 경로가 끊어지거나 기능을 못 할 정도로 저항이 커진 상태다.단락↗단락은 분리되어야 할 전기 경로 사이에 의도하지 않은 낮은 저항의 연결이 생긴 상태다.이전 용어← 금속 오염다음 용어임계치수 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개