활성영역
Active area
활성 영역
활성영역은 소자의 전류 경로와 접합 등을 형성하도록 정한 반도체 영역이다.
설명
주변의 소자분리 영역과 구분해 패턴을 만든다. 활성영역의 폭과 경계 상태는 이후 채널과 구조가 놓일 공간을 결정한다.
예시
활성영역이 좁아지거나 경계가 손상되면 뒤의 게이트 패턴이 정확해도 설계한 소자 특성을 얻기 어렵다. 후속 구조는 앞에서 확보한 영역 위에 만들어진다.
구분
소자 형성은 단일 선폭이 아니라 여러 기능 영역의 위치 관계를 만든다.