스페이서
Sidewall spacer
측벽 스페이서
스페이서는 기존 구조의 옆면에 남겨 간격과 보호 영역을 정하는 절연막 등의 구조이다.
설명
전체를 덮는 막을 만든 뒤 방향성 으로 수평면을 제거해 옆면에 남기는 방식이 대표적이다. 두께가 게이트와 후속 접합·접점 사이의 거리와 관련된다.
예시
스페이서의 위치는 새 노광만으로 정하는 것이 아니라 이미 있는 구조의 옆면을 기준으로 형성한다. 막 두께와 결과가 간격 제어에 직접 연결된다.
구분
스페이서는 표면의 기하학을 이용해 작은 간격을 정하는 구조이다.