타원계측
Ellipsometry
엘립소미트리
타원계측은 표면에서 반사된 빛의 편광 변화를 분석해 막 두께와 광학적 성질 등을 추정하는 방법이다.
설명
막의 굴절률·두께·층 구조를 설명하는 모델과 측정 신호를 맞춘다. 여러 조합이 비슷한 신호를 만들 수 있어 적합한 모델과 다른 정보가 중요하다.
예시
숫자가 자동으로 표시된다고 직접 자로 잰 두께와 같은 방식은 아니다. 재료가 바뀌었는데 이전 모델을 그대로 쓰면 두께 변화처럼 보일 수 있다.
구분
광학 측정은 신호와 재료 모델을 통해 물리량을 추정한다.