CD-SEM
Critical-dimension scanning electron microscopy
CD SEM
CD-SEM은 전자빔으로 얻은 영상 신호를 이용해 미세 패턴의 관리 치수를 측정하는 장비 또는 방법이다.
설명
선 경계의 판정 기준과 측정 위치가 수치에 영향을 준다. 높은 배율 영상이라고 모든 구조의 실제 바닥 치수를 그대로 보는 것은 아니다.
예시
윗면에서 보이는 폭과 단면의 바닥 폭은 다를 수 있다. 측정 높이와 경계 판정·반복 조건을 맞춰 공정 간 변화를 비교한다.
구분
CD-SEM 수치는 어느 경계를 어떤 기준으로 읽었는지와 함께 해석한다.