측정 반복성
Measurement repeatability
측정 반복성은 같은 대상과 같은 조건으로 반복 측정했을 때 결과가 얼마나 일치하는지를 나타내는 특성이다.
설명
반복값이 크게 흔들리면 작은 공정 차이를 구별하기 어렵다. 반복성이 좋아도 기준값에서 지속적으로 벗어난 편향이 있으면 정확하다고 말할 수 없다.
예시
반복 측정이 101, 101, 101 nm로 같아도 기준 구조의 실제 두께가 100 nm라면 편향을 검토해야 한다. 흩어짐과 중심의 어긋남은 다른 문제이다.
구분
잘 반복되는 측정과 올바른 값을 주는 측정은 구분해서 확인한다.