검사 민감도
Inspection sensitivity
검사 민감도는 특정 크기·대비·형태의 이상 신호를 검출할 수 있는 정도이다.
설명
설정을 바꾸면 발견하는 결함 수가 달라질 수 있다. 실제 결함이 늘지 않았는데도 더 작은 결함을 보게 되어 검출 수가 증가할 수 있다.
예시
전후 결함 수를 비교할 때 검사 면적·장비·설정·대상 구조를 맞춘다. 검출 조건이 바뀐 결과를 곧바로 공정 악화로 해석하지 않는다.
구분
검출 수 변화에는 공정 변화와 보는 방법의 변화가 모두 들어갈 수 있다.