결함 리뷰
Defect review
결함 리뷰는 검사에서 찾은 위치를 더 자세히 관찰해 실제 결함 여부와 종류를 분류하는 활동이다.
설명
고배율 영상이나 추가 분석으로 입자·잔사·패턴 변형 등을 나눈다. 처음 검출한 신호의 크기와 실제 결함의 물리적 크기가 항상 같지는 않다.
예시
모든 검출을 입자로 계산하기 전에 대표 위치를 확인한다. 결함 종류가 달라지면 확인할 공정 단계와 대응도 달라질 수 있다.
구분
검출은 위치를 찾고 리뷰는 그 위치에 무엇이 있는지 알아보는 단계이다.