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최악 조합

Corner combination

최악 조합은 각 입력이 허용 범위에 있어도 서로 겹쳐 최종 품질의 여유를 가장 작게 만드는 조건 조합이다.

설명

두꺼운 막·낮은 ·낮은 등이 함께 나타나는 경우를 생각할 수 있다. 모든 변수의 최대값이 언제나 최악은 아니며 결과와의 관계에 따라 정한다.

식각률

식각률은 단위 시간 동안 제거되는 재료의 두께나 깊이이다.

선택비

식각 선택비는 목표 재료의 식각률을 비교 재료의 식각률로 나눈 값이다.

평균 조건만으로 검증하면 실제 운용의 가장 불리한 조합을 놓칠 수 있다. 합리적으로 가능한 경계 조합에서도 필수 기준이 유지되는지 확인한다.

단위 규격을 통과하는 것과 연결된 구조에 여유가 있는 것은 다르다.

식각률은 단위 시간 동안 제거되는 재료의 두께나 깊이이다.

식각 선택비는 목표 재료의 식각률을 비교 재료의 식각률로 나눈 값이다.

단위공정은 증착·식각·이온주입처럼 특정한 물리·화학적 변화를 수행하는 기본 공정 기능이다.