공정 모니터 구조
Process monitor structure
공정 모니터 구조는 주요 공정 특성을 쉽게 측정하도록 만든 평판·패턴·전기적 시험 구조이다.
설명
소자 내부를 전부 직접 측정하기 어려워 대표 구조로 상태를 감시한다. 실제 제품과 폭·밀도·깊이·계면 조건이 얼마나 같은지에 따라 대표성이 달라진다.
예시
평판 막 두께는 증착량을 감시할 수 있지만 깊은 구멍의 바닥 피복을 완전히 대신하지 못한다. 감시 목적에 따라 평판과 실제 패턴 구조를 조합한다.
구분
모니터가 잘 보는 특성과 놓치는 구조 조건을 구분한다.