NA
Numerical aperture
수치개구
NA는 광학계가 빛을 받아들이는 각도 범위를 매질의 굴절률과 함께 나타내는 수치개구이다.
설명
대표적인 관계식에서 형성 가능한 치수는 파장에 비례하고 개구수 NA에 반비례한다. NA는 빛을 모으는 광학계의 능력과 관련된 값이며 공정·조명·마스크 조건도 결과에 관여한다.
예시
짧은 파장이나 큰 NA는 미세 패턴에 유리할 수 있지만 여유와 재료·광학 조건도 함께 관리해야 한다. 관계식 하나로 모든 제품의 최소 치수를 확정하지 않는다.
구분
개선은 파장·광학계·재료·패턴 보정이 함께 만드는 결과이다.