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GEM

Generic Equipment Model

팩별 설명

GEM은 SEMI E30에서 정의하는 장비 통신의 공통 기능·동작 모델이다.

설명

, 상태, , 원격 명령 등 장비가 통신으로 제공하는 동작을 공통적으로 설명한다. 세부 지원 범위는 장비별로 확인한다.

이벤트 보고

이벤트 보고는 작업 시작·종료 같은 정의된 사건이 발생했음을 알리는 메시지다.

알람

알람은 정의된 비정상 또는 주의 조건의 발생·해제 등을 알리는 신호다.

두 장비가 GEM을 지원해도 보고할 변수나 공정 특화 기능까지 모두 같다고 볼 수 없다.

공통 모델이 있어도 장비별 인터페이스 확인은 필요하다.

이벤트 보고는 작업 시작·종료 같은 정의된 사건이 발생했음을 알리는 메시지다.

알람은 정의된 비정상 또는 주의 조건의 발생·해제 등을 알리는 신호다.

MES는 제조실행시스템으로, 생산 중인 대상의 공정 진행·작업 조건·상태·실적·이력을 관리하는 기능을 담당한다.