검사 커버리지
Inspection Coverage
검사 커버리지는 정해진 결함 종류와 위치 중 실제 검사 방법으로 확인하는 범위를 뜻한다.
설명
기판 수량을 모두 검사했다는 말과 각 기판의 모든 결함을 검출한다는 말은 다르다. 항목·위치·방법·제외 사유를 함께 기록한다.
예시
100개 접합 중 80개만 광학적으로 보인다면 나머지 20개의 대체 확인 방법이 필요하다. 80%는 이 예제의 위치 커버리지이지 이 아니다.
구분
커버리지의 분모가 기판인지 부품인지 접합인지 먼저 정한다.