용어검색/반도체선 가장자리 거칠기Line edge roughnessLER팩별 설명반도체 계측·검사 L1반도체 소재 L1반도체 계측·검사 L2선 가장자리 거칠기는 패턴의 가장자리가 길이 방향으로 미세하게 흔들리는 정도입니다.정의 복사관련 학습 ↓설명약어는 LER입니다. 평균 선폭이 목표값과 같아도 가장자리의 흔들림은 다를 수 있습니다.예시폭이 평균적으로 맞는 선이라도 국소적으로 좁아진 부분이 있으면 후속 구조에 영향을 줄 수 있습니다.구분평균 CD와 가장자리 변동은 서로 다른 품질 정보입니다.CD임계 치수는 소자나 공정 기능에 중요해 관리하는 패턴의 폭·간격 같은 치수입니다.용어 상세 ↗함께 배우는 용어임계 치수↗임계 치수는 소자나 공정 기능에 중요해 관리하는 패턴의 폭·간격 같은 치수입니다.기판↗기판은 소자나 막을 형성할 때 그 구조를 받치고 형성의 바탕이 되는 재료입니다.전기전도도↗전기전도도는 재료가 전하를 얼마나 쉽게 이동시키는지를 나타내는 물성입니다.이전 용어← 임계 치수다음 용어노광량 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개