용어검색/반도체routeManufacturing route공정 경로라우트route는 제품이 거쳐야 할 공정 단계와 허용된 진행 순서를 정의한 제조 경로다.정의 복사관련 학습 ↓설명어떤 작업을 어떤 순서로 수행할지 나타내며, 건물 안에서 캐리어가 달리는 선로나 통로를 뜻하지 않는다.캐리어캐리어는 웨이퍼 등 제조 대상을 담아 운반·보관하는 물리적 용기다.용어 상세 ↗예시가상 route R1의 OP10 세정 → OP20 증착 → OP30 측정은 제조 순서다. 이송 선로는 별도의 물류 경로다.구분제조 route와 운반 경로를 구분한다.함께 배우는 용어캐리어↗캐리어는 웨이퍼 등 제조 대상을 담아 운반·보관하는 물리적 용기다.lot↗lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.operation↗operation은 제조 경로에서 식별·관리하는 개별 작업 단계다.이전 용어← 캐리어다음 용어operation →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개