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측정 유효성

Metrology validity

측정 유효성은 보정에 사용할 측정값이 올바른 대상·단위·시각·품질 조건을 만족하는지 확인하는 것이다.

설명

측정 실패나 대상 매핑 오류는 공정 보정으로 해결할 문제가 아닐 수 있다. 유효하지 않은 입력은 별도 대응한다.

다른 의 값을 받아 보정하면 실제 대상에 맞지 않는 조건이 적용될 수 있다.

lot

lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.

보정 전에 입력 자료의 자격을 확인한다.

lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.

APC는 공정 결과를 목표에 가깝게 유지하도록 데이터와 모델을 활용해 공정 조건을 보정하는 고급 공정제어를 뜻한다.

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.