용어검색/반도체패턴 붕괴Pattern collapse팩별 설명반도체 장비 L1반도체 수율·불량 L1반도체 소재 L1반도체 소재 L2반도체 클린룸·오염관리 L2패턴 붕괴는 가늘고 높은 패턴이 기울거나 서로 붙어 의도한 형태를 잃는 현상이다.정의 복사관련 학습 ↓설명재료 강성·접착·형상과 세정·건조 중 힘의 영향이 함께 작용할 수 있다. 더 강한 세정이 항상 해결책은 아니다.예시높이가 큰 레지스트 선이 건조 후 서로 붙었다면 단순 노광량 부족과 다른 기계적 메커니즘을 검토한다.구분작은 패턴은 화학 반응뿐 아니라 기계적 안정성도 중요하다.함께 배우는 용어가중 수율↗가중 수율은 여러 집단의 합격 수를 합하고 대상 수를 합해 계산한 전체 합격 비율이다.단선↗단선은 원래 이어져야 할 전기 경로가 끊어지거나 기능을 못 할 정도로 저항이 커진 상태다.단락↗단락은 분리되어야 할 전기 경로 사이에 의도하지 않은 낮은 저항의 연결이 생긴 상태다.이전 용어← 패턴 끊김다음 용어식각 선택비 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개