플라스마 강화 CVD
Plasma-enhanced CVD
PECVD
강화 는 플라스마가 제공하는 에너지를 이용해 원료 반응을 돕는 화학 기상 증착입니다.
플라스마는 기체에 에너지가 공급되어 전자·이온 등 하전 입자와 중성종이 함께 존재하는 상태입니다.
용어 상세 ↗화학 기상 증착은 기체나 증기 상태로 공급한 원료가 반응하여 고체막을 형성하는 방법입니다.
용어 상세 ↗설명
약어는 PECVD입니다. 비슷한 반응의 열 보다 낮은 온도를 사용할 수 있는 경우가 있지만 막 특성과 영향은 따로 봅니다.
화학 기상 증착은 기체나 증기 상태로 공급한 원료가 반응하여 고체막을 형성하는 방법입니다.
용어 상세 ↗기판은 소자나 막을 형성할 때 그 구조를 받치고 형성의 바탕이 되는 재료입니다.
용어 상세 ↗플라스마는 기체에 에너지가 공급되어 전자·이온 등 하전 입자와 중성종이 함께 존재하는 상태입니다.
용어 상세 ↗예시
온도가 낮아도 재료 손상이 절대 없다는 뜻은 아닙니다. 입자·전하·막의 결합 상태가 결과에 영향을 줄 수 있습니다.
구분
낮은 온도라는 장점과 막·표면의 영향을 함께 평가합니다.