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공정 적합성

Process compatibility

공정 적합성은 재료가 투입될 공정 조건과 이웃 재료를 함께 고려했을 때 목적을 수행할 수 있는 성질입니다.

설명

열·약품·를 견디는 정도와 제거 가능성, 오염 발생을 함께 봅니다. 단독 물성의 우수함만으로 공정 적합성이 결정되지 않습니다.

플라스마

플라스마는 기체에 에너지가 공급되어 전자·이온 등 하전 입자와 중성종이 함께 존재하는 상태입니다.

이 좋은 막도 나중에 제거해야 하는 임시층이라면 제거 잔사가 문제가 될 수 있습니다.

접착력

접착력은 서로 맞닿은 재료가 분리되는 것에 저항하는 성질입니다.

‘좋은 소재’는 목적과 공정 경계가 정해져야 판단할 수 있습니다.

플라스마는 기체에 에너지가 공급되어 전자·이온 등 하전 입자와 중성종이 함께 존재하는 상태입니다.

접착력은 서로 맞닿은 재료가 분리되는 것에 저항하는 성질입니다.

반도체 소재는 소자를 만들고 연결·보호하는 재료와, 그 제조 과정에 사용하는 재료를 함께 가리킵니다.