공정 레시피
Process recipe
레시피
공정 레시피는 장비가 수행할 단계와 각 단계의 제어값·전환 조건·제한을 정한 실행 규칙이다.
설명
, , 의 순서와 조건이 연결되어 하나의 절차가 된다.
예시
같은 최대 라도 단계 순서나 종료 조건이 다르면 셀에 가해진 이력이 달라진다.
구분
레시피 이름과 실제 실행 버전을 함께 확인한다.
Process recipe
레시피
공정 레시피는 장비가 수행할 단계와 각 단계의 제어값·전환 조건·제한을 정한 실행 규칙이다.
, , 의 순서와 조건이 연결되어 하나의 절차가 된다.
같은 최대 라도 단계 순서나 종료 조건이 다르면 셀에 가해진 이력이 달라진다.
레시피 이름과 실제 실행 버전을 함께 확인한다.