대기시간 영향
Queue-time effect
대기시간 영향은 공정 사이 기다리는 동안 표면이나 재료 상태가 변하여 다음 공정에 영향을 주는 현상이다.
설명
흡착·산화·수분 노출 등이 후보가 될 수 있다. 어떤 시작·종료 사건으로 시간을 재는지와 보관 조건이 중요하다.
예시
세정 후 다음 증착까지 오래 기다린 군에서 이 높다면 보관 환경과 다른 공정 차이를 함께 확인한다.
구분
시간은 빈 대기 구간이 아니라 표면 상태가 변할 수 있는 조건이다.