표면 거칠기
Surface roughness
표면 거칠기는 정해진 길이 범위와 측정법에서 표면 높이가 미세하게 달라지는 정도입니다.
설명
거친 표면은 아주 얇은 막과 접합면에 영향을 줄 수 있습니다. 측정 영역이나 계산 지표가 다르면 수치를 그대로 비교하기 어렵습니다.
예시
웨이퍼 전체의 평탄도와 작은 영역의 거칠기는 같은 값이 아닙니다. 둘 중 하나만 좋아도 모든 공정이 만족되는 것은 아닙니다.
구분
거칠기 숫자에는 측정 범위와 지표를 함께 붙입니다.