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파형 특징값

Trace feature

파형 특징값은 평균·최댓값·정착시간·적분값 등 파형의 특정 특성을 요약한 수치다.

설명

단계 평균은 안정 조건을 보기 좋지만 과도 피크나 지연을 숨길 수 있다. 가스 펄스에는 적분값, 압력 전이에는 정착시간처럼 메커니즘에 맞는 특징을 고른다.

동일 평균 의 두 파형에서 한쪽만 큰 피크가 있다면 최댓값·초과 지속시간이 추가 구분력을 준다. 피크가 센서 잡음인지도 확인한다.

RF는 고주파를 뜻하며, 이 팩에서는 플라즈마 생성·바이어스에 쓰는 교류 전력의 맥락으로 사용한다.

요약값은 보존한 정보와 버린 정보를 동시에 가진다.

RF는 고주파를 뜻하며, 이 팩에서는 플라즈마 생성·바이어스에 쓰는 교류 전력의 맥락으로 사용한다.

실누설은 외부와 이어진 경로를 통한 가스 유입이고, 가상 누설은 내부에 갇힌 가스가 좁은 길을 통해 늦게 방출되는 현상이다.

아크는 국부적으로 큰 전류가 흐르는 비정상 방전으로, 입자·절연막·형상에 따른 전계 집중과 관련될 수 있다.