배스 노화와 재오염
Bath aging and recontamination
배스 노화는 사용 중 용액의 유효 성분·부산물·오염 수준이 변하는 현상이다.
설명
사용 시간뿐 아니라 처리 면적·오염 부하·보충·여과 조건이 상태를 바꾼다. 떨어진 입자가 다시 붙거나 다른 웨이퍼로 전달될 수도 있다.
예시
같은 사용 시간이라도 제품 구성과 투입량이 다르면 상태가 같지 않다. 표면적·오염 부하·성분 측정과 결과 추세를 연결한다.
구분
배스 수명은 시간만 아니라 누적 부하와 실제 상태의 문제다.