전구체 고갈
Precursor depletion
전구체 고갈은 이동 경로에서 반응물이 소모되어 뒤쪽 위치에 도달하는 농도가 낮아지는 현상이다.
설명
배치 웨이퍼 수·표면적·반응률이 늘면 고갈 정도가 커질 수 있다. 유량·주입 분포·온도 배분으로 보완하되 다른 막 특성이 바뀔 수 있다.
예시
흐름 앞쪽은 두껍고 뒤쪽은 얇은 패턴이 로딩과 함께 변하면 고갈 가설을 검토한다. 계측 순서에 따른 드리프트와 혼동하지 않도록 좌표와 시간을 구분한다.
구분
반응물이 어디서 소모되는지가 뒤쪽 웨이퍼의 조건을 만든다.