배선 형성 구간
Back End of Line
BEOL
형성된 소자들을 금속 배선과 로 서로 연결해 회로망을 만드는 제조 구간.
설명
배선 ·기생용량·금속 는 BEOL 성능과 밀접하다.
예시
여러 금속 층과 를 쌓아 들을 필요한 논리 회로로 연결한다. 관련 용어: / / 비아 /
구분
BEOL은 보통 위 칩 내부 배선 형성 구간을 뜻하며, 조립·패키징 후공정과 같은 말이 아니다.
Back End of Line
BEOL
형성된 소자들을 금속 배선과 로 서로 연결해 회로망을 만드는 제조 구간.
배선 ·기생용량·금속 는 BEOL 성능과 밀접하다.
여러 금속 층과 를 쌓아 들을 필요한 논리 회로로 연결한다. 관련 용어: / / 비아 /
BEOL은 보통 위 칩 내부 배선 형성 구간을 뜻하며, 조립·패키징 후공정과 같은 말이 아니다.