피치
Pattern Pitch
Pitch
주기적으로 반복되는 에서 한 기준점부터 다음 같은 기준점까지의 반복 간격.
설명
선폭과 선 사이 간격이 함께 줄어들면 피치가 작아져 더 높은 밀도를 구현할 수 있다.
예시
10 nm 선과 10 nm 간격이 반복되면 선 피치는 20 nm로 표현할 수 있다. 관련 용어: / 선 / 간격 / 밀도
구분
피치는 반복 간격이고 는 선폭처럼 개별 형상 요소의 핵심 치수다.
Pattern Pitch
Pitch
주기적으로 반복되는 에서 한 기준점부터 다음 같은 기준점까지의 반복 간격.
선폭과 선 사이 간격이 함께 줄어들면 피치가 작아져 더 높은 밀도를 구현할 수 있다.
10 nm 선과 10 nm 간격이 반복되면 선 피치는 20 nm로 표현할 수 있다. 관련 용어: / 선 / 간격 / 밀도
피치는 반복 간격이고 는 선폭처럼 개별 형상 요소의 핵심 치수다.