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캐리어 슬롯

Carrier slot

slot

캐리어 슬롯은 용기 내부에서 개별 가 놓이는 위치다.

웨이퍼

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.

설명

슬롯 번호는 위치 정보이므로 ID와 함께 관리해야 어느 웨이퍼가 어느 자리에 있는지 알 수 있다.

웨이퍼

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.

슬롯 3의 내용물이 바뀌어도 슬롯 번호 자체는 그대로다. 슬롯 3을 영구 ID로 사용하면 추적이 끊긴다.

웨이퍼

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.

위치와 대상의 정체성을 분리한다.

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.

MES는 제조실행시스템으로, 생산 중인 대상의 공정 진행·작업 조건·상태·실적·이력을 관리하는 기능을 담당한다.

lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.