FOUP

Front Opening Unified Pod

팩별 설명

FOUP는 전면 개방형 운반·보관 용기로, 300 mm 웨이퍼 제조 환경에서 널리 사용되는 종류다.

웨이퍼

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.

캐리어

캐리어는 웨이퍼 등 제조 대상을 담아 운반·보관하는 물리적 용기다.

설명

외부 오염 노출을 줄이고 장비의 접속 위치와 연결하여 를 출입시키는 데 쓰인다. 모든 Fab이 같은 용기를 쓰는 것은 아니다.

웨이퍼

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.

200 mm 공장이나 특수 공정은 다른 를 사용할 수 있다. FOUP라는 단어를 모든 반도체 용기의 이름으로 쓰지 않는다.

캐리어

캐리어는 웨이퍼 등 제조 대상을 담아 운반·보관하는 물리적 용기다.

FOUP는 의 한 종류이지 의 생산 단위 명칭이 아니다.

캐리어

캐리어는 웨이퍼 등 제조 대상을 담아 운반·보관하는 물리적 용기다.

MES

MES는 제조실행시스템으로, 생산 중인 대상의 공정 진행·작업 조건·상태·실적·이력을 관리하는 기능을 담당한다.

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.

캐리어는 웨이퍼 등 제조 대상을 담아 운반·보관하는 물리적 용기다.

MES는 제조실행시스템으로, 생산 중인 대상의 공정 진행·작업 조건·상태·실적·이력을 관리하는 기능을 담당한다.