챔버 매칭
Chamber matching
챔버 매칭은 정해진 제품과 조건에서 챔버 간 결과 차이를 허용 가능한 범위로 관리하는 활동이다.
설명
같은 부품 번호·레시피는 비교 출발점이지만 표면 이력·센서 편향·열접촉이 다르면 결과는 달라질 수 있다. 무엇을 어느 공차로 맞출지 먼저 정한다.
예시
막 두께 평균만 맞춘 챔버에서 응력이나 가장자리 저항이 달라질 수 있다. 해당 제품의 중요 품질 특성을 매칭 기준에 포함한다.
구분
챔버 의 범위는 평가한 지표와 조건으로 한정된다.