탈가스와 투과
Outgassing and permeation
탈가스는 재료·표면에 있던 가스가 방출되는 현상이고, 투과는 기체가 재료 내부를 지나 전달되는 현상이다.
설명
챔버가 대기에 노출되면 표면 흡착수 등으로 초기 가스 부하가 커질 수 있다. 밀봉재는 기체에 따라 투과 특성이 달라 완전한 금속벽과 같지 않다.
예시
시간 경과에 따라 이 낮아지면 감소하는 탈가스 부하와 일관될 수 있지만, 작은 실누설이 동시에 없다는 증거는 아니다.
구분
한 가지 가스 공급원만 있다고 가정하지 않는다.