클린룸 청정도 등급
Cleanroom Classification
Cleanroom Class
공기 중 특정 크기 이상의 농도를 기준으로 의 공기 청정도를 분류하는 등급 체계.
공기·액체·표면에 존재하는 미세 고형 또는 액상 입자. 미세공정에서는 작은 입자도 패턴을 막거나 결함을 만들 수 있다.
용어 상세 ↗공기 중 입자와 오염원을 관리해 정해진 청정도를 유지하는 제조 환경. 반도체 팹에서는 미세 오염이 패턴과 소자에 영향을 줄 수 있어 핵심 생산 공간으로 관리한다.
용어 상세 ↗설명
면접에서는 등급 숫자 자체를 외우기보다 ' 농도로 청정도를 등급화한다'는 개념을 우선 이해하면 된다.
공기·액체·표면에 존재하는 미세 고형 또는 액상 입자. 미세공정에서는 작은 입자도 패턴을 막거나 결함을 만들 수 있다.
용어 상세 ↗예시
공정 요구가 더 엄격한 구역은 더 낮은 농도를 유지하도록 별도 등급과 관리 기준을 적용할 수 있다.
관련 용어: 입자 /
공기·액체·표면에 존재하는 미세 고형 또는 액상 입자. 미세공정에서는 작은 입자도 패턴을 막거나 결함을 만들 수 있다.
용어 상세 ↗공기 중 입자와 오염원을 관리해 정해진 청정도를 유지하는 제조 환경. 반도체 팹에서는 미세 오염이 패턴과 소자에 영향을 줄 수 있어 핵심 생산 공간으로 관리한다.
용어 상세 ↗구분
등급은 청정도 수준이고 수는 그 수준을 판단하는 측정값 중 하나다.
공기·액체·표면에 존재하는 미세 고형 또는 액상 입자. 미세공정에서는 작은 입자도 패턴을 막거나 결함을 만들 수 있다.
용어 상세 ↗