구리 확산 차단
Copper diffusion containment
구리 확산 차단은 구리가 주변 절연막이나 소자 영역으로 이동하여 기능을 훼손하지 않도록 경로를 막는 것이다.
설명
측벽 배리어·상부 캡·계면 연속성이 함께 역할을 한다. 부분 결함은 초기 저항에 드러나지 않아도 후속 열·전기 스트레스에서 문제가 될 수 있다.
예시
배리어 축소로 저항이 낮아져도 누설·이 나빠지면 통합 합격이 아니다.
구분
전도 단면의 이득과 차단 기능의 손실을 함께 계산한다.