cycle time
Cycle time
이 팩의 cycle time은 정한 생산 경계에 들어온 시점부터 나간 시점까지의 을 뜻한다.
설명
문맥에 따라 설비의 한 처리 주기라는 뜻도 있으므로 경계를 명시한다. 여기서는 대기·이동·가공 등을 포함하는 흐름시간이다.
예시
Fab 투입부터 완료까지 2일과 설비 한 30분은 서로 다른 cycle time이다.
run
설비에서 식별 가능한 한 번의 처리 실행을 가리키는 현업 표현이다. lot·operation이 같아도 재실행이나 다른 챔버의 실행은 별도 run일 수 있어 실행 ID와 실제 범위를 확인한다.
용어 상세구분
같은 용어라도 측정 경계를 확인한다.