run
Process run
런
설비에서 식별 가능한 한 번의 처리 실행을 가리키는 현업 표현이다. ·이 같아도 재실행이나 다른 의 실행은 별도 run일 수 있어 실행 ID와 실제 범위를 확인한다.
lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.
용어 상세 ↗operation은 제조 경로에서 식별·관리하는 개별 작업 단계다.
용어 상세 ↗챔버는 설비 내부에서 실제 공정이 수행되는 처리 공간이나 모듈을 뜻한다.
용어 상세 ↗