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초크랄스키법

Czochralski method

초크랄스키법은 녹인 실리콘에 작은 씨앗 결정을 접촉시킨 뒤 성장시키며 끌어올려 을 만드는 방법입니다.

단결정

단결정은 원자 배열의 규칙적인 방향이 큰 영역에 걸쳐 이어지는 결정입니다.

설명

석영 도가니와 성장 조건, 의도적으로 넣는 원소가 결정의 성질에 영향을 줍니다. 약어는 CZ입니다.

CZ 웨이퍼에서 산소 함량은 도가니와 성장 이력에 관련됩니다. 산소를 무조건 같은 의미의 나쁜 오염으로만 취급하지 않습니다.

성장 방법이 결정 속 성분과 전기적 특성의 출발점입니다.

단결정은 원자 배열의 규칙적인 방향이 큰 영역에 걸쳐 이어지는 결정입니다.

반도체 소재는 소자를 만들고 연결·보호하는 재료와, 그 제조 과정에 사용하는 재료를 함께 가리킵니다.

기판은 소자나 막을 형성할 때 그 구조를 받치고 형성의 바탕이 되는 재료입니다.