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결함

Defect

팩별 설명

결함은 재료·형상·구조 등이 의도한 상태에서 벗어난 국소적 이상이다.

설명

입자, 잔류물, 배선 끊김, 막의 빈 공간 등이 예다. 검출된 이상이 회로 기능에 영향을 주는지는 위치와 크기, 재료, 연결 구조에 따라 달라진다.

배선 사이를 잇는 금속 입자는 을 만들 수 있지만 회로 밖의 같은 크기 입자는 현재 전기 시험에 영향을 주지 않을 수 있다.

단락

단락은 분리되어야 할 전기 경로 사이에 의도하지 않은 낮은 저항의 연결이 생긴 상태다.

결함의 개수뿐 아니라 어디에 어떤 형태로 있는지 본다.

단락은 분리되어야 할 전기 경로 사이에 의도하지 않은 낮은 저항의 연결이 생긴 상태다.

수율은 정해진 평가 대상 중 정해진 합격 기준을 만족한 대상의 비율이다.

로트는 제조와 추적을 위해 함께 관리하는 웨이퍼나 제품의 묶음이다.