설명
로트에는 제품 종류와 공정 이력이 연결된다. 하나의 로트 안에서도 위치나 처리 챔버에 따라 품질이 달라질 수 있다.
웨이퍼는 여러 개의 반도체 다이를 한꺼번에 만드는 얇은 기판이다.
용어 상세 ↗예시
로트 평균 이 정상이어도 한 장에서 불량이 집중될 수 있다. 로트 합계에서 웨이퍼별, 다이별 결과로 내려가 확인한다.
수율은 정해진 평가 대상 중 정해진 합격 기준을 만족한 대상의 비율이다.
용어 상세 ↗구분
로트는 관리 단위이지 모든 구성원이 동일하다는 보증이 아니다.