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탐지 규칙과 모델

Detection rule and model

탐지 규칙과 모델은 신호가 기대 범위나 패턴에서 벗어났는지 판단하는 기준이다.

설명

단순 한계 규칙, 통계 모델, 학습 기반 모델 등 여러 방식이 가능하다. 모든 가 인공지능을 쓰는 것은 아니다.

FDC

FDC는 설비·공정 신호를 이용해 이상을 탐지하고, 구현에 따라 이상 유형을 분류하는 기능이다.

규칙을 바꾸면 경보 민감도와 오경보가 달라질 수 있어 적용 범위와 변경 이력을 남긴다.

모델 이름보다 검증 범위와 데이터 조건을 확인한다.

FDC는 설비·공정 신호를 이용해 이상을 탐지하고, 구현에 따라 이상 유형을 분류하는 기능이다.

lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.