회절
Diffraction
회절은 파동이 구조를 지나거나 반사될 때 퍼지고 간섭하여 방향별 세기가 달라지는 현상이다.
설명
반복 패턴에서는 주기와 형상에 따라 회절 신호가 달라진다. 이 관계를 모델로 계산하면 패턴 치수나 층 간 위치의 단서를 얻을 수 있다.
예시
규칙적 격자를 광학적으로 측정할 때 화면의 선을 하나씩 세는 대신 방향·파장별 응답을 해석할 수 있다. 결과는 모델과 타깃 정의에 의존한다.
구분
회절 신호를 형상으로 바꾸는 데는 물리 모델이 필요하다.